微电子工业中空气过滤器的应用

       电脑中每天钻进无数灰尘，只可惜电脑没有装过滤器，如果以后电脑中也装上过滤除尘器就好了。粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路，粉尘直接影响寿力空压机配件产品的成品率。当今，半导体工业（芯片厂）对生产环境空气洁净程度高挑剔，对空气过滤器的要求也最苛刻。

　　衡量芯片集成度的指标之一是“线宽”，即电路上导线的宽度。在以微米计算线宽的年代，人们说制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的 1/10，随着线宽不断变小，1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年，普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13mm，此时任何粉尘都可能损害电路，粒径与线宽的传统比较已经过时了。
 
　　芯片厂传统的通风形式是“大循环”，车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的过滤装置， 即FFU风机过滤器机组。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度，只是在运行管理和能耗上有所差异。　
      不论是普通高效过滤器还是FFU，出厂前都要经过逐台扫描 测试。国内目前没有扫描测试方法标准，能挤进芯片厂的过滤器厂家是按欧美标准对过滤器进行扫描测试的。芯片厂的人认为，过滤器传统 检验方法用的试验粉尘本身就是污染源，所以芯片厂不买钠焰法和DOP法的帐。　　
        
      空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘的颗粒比较大， 普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸，可沿海地区经济发达，芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区，在过滤器上多花点钱就是 了。
　　20世纪90年代初，国外曾对高效过滤器玻纤滤纸的含硼问题争吵了一阵，随后，过滤器的微量挥发元素成了芯片厂关注的事情。近几年，国外出现了聚四氟乙烯纤维高效过滤材料，这种材料没有挥发物，但它是带静电的“驻极体”，少了个隐患，多了个麻烦，过滤后的空气要进行电中和以消除空气中的离 子。目前这种材料的价格偏高，大部分过滤器仍使用玻璃纤维滤纸。过滤器上可能的微量挥发元素主要来源于粘结剂和清洗剂，为芯片厂供货的过滤器厂商要在这上面下些功夫。